硅片厚度傳感器（SIT-200）
簡要描述：硅片厚度傳感器（SIT-200）中與寬帶光源不同，SIT-200使用高速掃描可調諧激光器探測被測晶圓。這使得每波長的功率測量更高，從而產生更高的動態范圍。
產品型號：
所屬分類：光電常用設備
更新時間：2024-12-16
詳細說明：
硅片厚度傳感器（SIT-200）中與寬帶光源不同，SIT-200使用高速掃描可調諧激光器探測被測晶圓。這使得每波長的功率測量更高，從而產生更高的動態范圍。結果，例如在濕蝕刻期間/之后，甚至可以在未拋光的晶圓上執行厚度測量。
硅片厚度傳感器（SIT-200）的主要特點有：
一、硅片用全光非接觸式厚度傳感器
二、能夠測量無序表面的高動態范圍
三、能夠在濕法腐蝕過程中進行原位測量
在生活中其常常應用于硅片厚度測量
硅片厚度傳感器（SIT-200）的主要特點有：
一、硅片用全光非接觸式厚度傳感器
二、能夠測量無序表面的高動態范圍
三、能夠在濕法腐蝕過程中進行原位測量
